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共聚焦三维表面轮廓仪特点
轮廓仪具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌测量的理想配置。
项 目 简 述 | 参数说明 |
共聚焦三维表面轮廓仪 | ●可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。 ●具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌测量的理想配置。 ●在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制 ●应用于透明层/薄膜。 ●兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。 ●长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。 高稳定性。 |
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