2024-04-20
主要规格
観察方法
光切断方式(利用狭缝光学系统测定深度高度)
■物镜
固定倍率10倍(5倍、20倍)
軸駆動方式
基于点光的AF连续追踪方式(离线时可手动测量)
投射缝隙
10um半反光镜型
Z轴测量
Z轴数字线性仪表0.1阅读
重复精度
~1微米以内
使用光源
半导体激光器(类2)、卤素光源
自动捕捉表示截面形状的细狭缝光、红色激光斑点、阶梯差的变化,Z
轴功能迅速跟随,进行测定数值的数字显示(自动聚焦)·系统)功能
与电子线方式的基准线相结合,扩大了测量范围,提高了利用价值,是
新型的深度高度测量机。
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